日本CKD传感器,喜开理应用环境 CKD传感器是用标准的硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同芯片上。 　　薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。

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